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石墨在直拉單晶硅中的用
直拉單晶爐的熱系統(tǒng)是指為了熔化硅料, 并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個系統(tǒng),在直拉單晶硅熱場中,石墨部件有增渦、加熱器、電極、隔熱遮蔽板、籽晶夾持器、旋轉增禍用的底座、各種圓板、熱反射板等約30余種。
在這些高純石墨制品中,加熱器是熱系統(tǒng)中最重要的部件,是直接的發(fā)熱體,溫度最高達到1600℃以上;與加熱器相連的石墨電極不僅要平穩(wěn)支撐加熱器還需要通過它對加熱器進行加熱,因此石墨電極要求厚重,結實耐用,它與金屬電極和加熱器的接觸面需要光滑、平穩(wěn),保證接觸良好,通電時不打火,這就需要對石墨電極進行特殊化處理;用來盛裝硅料的高純石墨柑禍必須具有一定的強度,用來承受硅料的重量。
隨著石墨材料在直拉單晶中的應用越來越廣泛,石墨材料的發(fā)展可以促使直拉單晶工藝得到改善,有利于進一步降低直拉單晶的生產成本和提高直拉單晶的生產效率。
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