等離子蝕刻設(shè)備部件
在等離子體蝕刻處理過(guò)程中,等離子體反應(yīng)室的部件表面會(huì)暴露在等離子體蝕刻氣體中,被腐蝕,造成污染。而石墨在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,不易受腐蝕,可用于等離子蝕刻設(shè)備部件,如石墨電極。
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