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離子注入設(shè)備部件


  離子注入是指將硼、磷、砷等離子束加速到一定能量,然后注入晶圓材料的表層內(nèi),以改變材料表層物質(zhì)特性的工藝。

  

 

  圖 離子注入原理

  組成離子注入裝置部件的材料要求具有出優(yōu)異耐熱性、導(dǎo)熱性、由離子束引起的腐蝕較少且雜質(zhì)含量低的高純材料。高純石墨滿足應(yīng)用要求,可用于離子注入設(shè)備的飛行管、各種狹縫、電極、電極罩、導(dǎo)管、束終止器等。

  

 

  圖 離子注入石墨部件

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