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電子半導(dǎo)體

氫能源石墨雙極板

石墨雙極板是一種用于電化學(xué)電池的電極材料，由石墨和多種添加劑組成。它的主要作用是提供電池反應(yīng)所需的反應(yīng)表面，同時(shí)具有良好的導(dǎo)電性、穩(wěn)定性和耐腐蝕性。石墨雙極板通常用于燃料電池和電解池等氫能源領(lǐng)域的電池中，主要具有以下作用：

EDM電火花加工

EDM石墨，又稱為電火花加工用石墨，是一種新型材料，現(xiàn)在越來(lái)越廣泛地應(yīng)用在精密模具加工行業(yè)。目前在發(fā)達(dá)的歐洲國(guó)家的模具加工廠，超過(guò)90%以上的模具加工電極材料是石墨。銅，這種曾經(jīng)占統(tǒng)治地位的電極材料，和石墨電極相比它的優(yōu)勢(shì)幾乎消失殆盡。為什么會(huì)這樣呢?因?yàn)槭鳛殡娀鸹庸び梅烹姴牧暇哂芯薮蟮膬?yōu)勢(shì)，由于火花油中也含有C原子，在放電加工時(shí)，高溫使得火花油中的C原子被分解出來(lái)，從而在EDM石墨電極的表面形成保護(hù)膜，補(bǔ)償了石墨電極的損耗，因此石墨電極的損耗很小，所以使用壽命長(zhǎng)。

柔性石墨箔

柔性石墨箔由天然膨脹石墨制成，在半導(dǎo)體應(yīng)用上可提高系統(tǒng)和工藝的性能，最大限度的降低能耗并保證可靠性。可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中的保溫筒、隔熱材料、柔性層、密封材料等各種零部件。

等離子蝕刻設(shè)備部件

在等離子體蝕刻處理過(guò)程中，等離子體反應(yīng)室的部件表面會(huì)暴露在等離子體蝕刻氣體中，被腐蝕，造成污染。而石墨在離子轟擊或等離子等極限工作條件下，不易受腐蝕，可用于等離子蝕刻設(shè)備部件，如石墨電極。

離子注入設(shè)備部件

離子注入是指將硼、磷、砷等離子束加速到一定能量，然后注入晶圓材料的表層內(nèi)，以改變材料表層物質(zhì)特性的工藝。

外延石墨盤

外延工藝是指在單晶襯底上生長(zhǎng)一層跟襯底具有相同晶格排列的單晶材料，外延層可以是同質(zhì)外延層(Si/Si)，也可以是異質(zhì)外延層 (SiGe/Si 或 SiC/Si 等)。在硅和碳化硅的外延工藝中，晶片承載在石墨盤上，有桶式、煎餅式和單晶片石墨盤。石墨盤的性能和質(zhì)量對(duì)晶片的外延層的質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。

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